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德國(guó)Sentech Instruments GmbH 公司的所有產(chǎn)品,該公司位于德國(guó)*都柏林,是一家從事薄膜測(cè)量?jī)x器和等離子體設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)的高科技公司。SENTECH公司生產(chǎn)的各種等離子體刻蝕、沉積設(shè)備具有高刻蝕率、低損傷、低溫、高均勻度、沉積速度快等特點(diǎn),廣泛地用于半導(dǎo)體、微系統(tǒng)、有機(jī)薄膜等領(lǐng)域。
SENTECH公司致力于發(fā)展薄膜測(cè)量技術(shù)(光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀)和等離子加工技術(shù)(等離子刻蝕、沉積系統(tǒng),定制解決方案),**研發(fā)、制造、銷(xiāo)售相關(guān)儀器和設(shè)備。
激光橢偏儀SE 400advanced
多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長(zhǎng)HeNe激光器,對(duì)測(cè)量薄膜厚度,折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)
• 超高精度和穩(wěn)定性,來(lái)源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補(bǔ)償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測(cè)器
• 高精度樣品校準(zhǔn),使用光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡和顯微鏡
• 快速簡(jiǎn)易測(cè)量,可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度
• 多角度測(cè)量,可完全支持復(fù)雜應(yīng)用和*準(zhǔn)厚度
• 全方面的預(yù)設(shè)應(yīng)用,包含微電子、光電、磁存儲(chǔ)、生命科學(xué)等領(lǐng)域
規(guī)格:
• 激光波長(zhǎng)632.8 nm
• 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái)
• 入射角度可調(diào),步進(jìn)5º
• 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡,用于樣品校準(zhǔn)
• Small footprint
• 以太網(wǎng)接口連接到PC
SE 400advanced軟件特征:
• 預(yù)先定義應(yīng)用
• 多角度測(cè)量
• 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫(kù)
• 擬合狀況的圖形反饋
• 支持多種語(yǔ)言
代表型號(hào):SI500、SI500PPD、SE400advanced、SE500advanced、SE 900-50、SENDURO、SENresearch、Reflectometer RM、Etchlab200、SI100.....