水處理臭氧發生多采用氣隙放電法，因濃度需求，其電耗增高，器件的溫升也不可避免，溫升是影響臭氧產生和設備壽命的主要因素，所以一般需要冷卻，主要有風冷，水冷兩種，有的則通過冷氣源來解決，采用哪種方式，由設備設計決定。

　　在同樣臭氧發生部件、電源條件下，臭氧產量與氣源干燥度是成正比的，即氣源干燥度越高，發生量/小時值也就越高，所以對氣源的凈化干燥處理是不可少的，一般稱為氣源預處理或氣源干燥器系統。目前氣源干燥的手段主要有冷凍、露凝、化學法等，其干燥度以相當于空氣溫度計算，如-40℃指的是氣源在-40℃時的干燥程度。氣水混合裝置是臭氧用于水處理必不可少的配套技術，雖然臭氧易溶于水，溶解度比氧氣高十幾倍，但必須采用一種技術手段使臭氧與水充分接觸，接觸面積、時間、臭氧濃度、壓力等都是混合效率的決定因素。目前，臭氧與水的混合主要有以下幾種：　　嚗氣法：這是一種傳統的簡便方法，是靠臭氧氣經壓縮后利用某種泡化器件，讓臭氧形成氣泡與水充分接觸，不難看出，氣泡越小、越多、深度越大，效果越好。射流法：也稱文丘里法，是利用水在管道中流動時通過裝置變徑加快流速形成負壓吸氣，通入臭氧與水在管路中混合。這種裝置在安裝時，一是射流器須與管路配套（以管徑為準），二是射流器中的水流向不能存在逆壓，避免水進入臭氧發生罐，三是射流器延出管路必須在2.5m以上，越長效率越高，四是流速要達到一定量，保證負吸形成，五是器件與管路必須用不銹鋼或塑料材質，杜絕用鋼、鐵以免消耗臭氧與氧化腐蝕。射流法效率較高，但安裝設計與要求應相當嚴格。　　渦輪負吸法：這種方式是通過水泵吸程加裝氣路，在供水時形成負吸將臭氧帶入水中，效率較高。其原理與文丘里法基本相同，也廣為采用。其安裝要求與文丘里法也大致相同，需要特別注意的是，其氣量控制，氣量大時會影響水泵供水。　　混合塔法：這種方法是通過一個較高的裝置塔，將水由高處噴下形成霧狀，將臭氧氣自下方通入并使之與水流形成逆行，使臭氧氣與水充分接觸形成臭氧水。此方式有無填料和有填料兩種，材質是十分講究的，效果也很好，只是成本造價較高。電控是水處理臭氧發生器必不可少的部分，直接關系到設備的開停及使用，一般分為、自動、數控三種模式，目前使用閉環控制的還較少，電控的設計是根據單機發生要求而定的，不一而足。
　　結構系統除將以上技術組裝到一起外，還要考慮高濃度臭氧氣的密封問題，避免泄漏傷及人體，必要時還要具備對剩余排除臭氧氣的催化處理技術，要求都是很嚴格的。