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產(chǎn)品分類(lèi)
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供應(yīng)AALBORG氣體質(zhì)量流量計(jì)
產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
－剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
－*大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
－電路保護(hù)
－可用作便攜式的設(shè)備
－0到**比例顯示
－可配備流量計(jì)算機(jī)
精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
重復(fù)性：±0.5％滿量程
回應(yīng)時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過(guò)滿量程25-**一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號(hào)：0-5Vdc，**1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可選
時(shí)間恒量：800ms
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